공정 재료(가스와 케미칼)

반도체용 다결정 실리콘(폴리실리콘) 원료에 요구되는 순도의 기준으로 가장 적절한 것은 무엇입니까?

  1. A99% 정도
  2. B99.99% 정도
  3. C99.999999999%(11N) 정도
정답과 해설 보기

정답: C. 99.999999999%(11N) 정도

반도체용 다결정 실리콘에는 9가 11개 늘어선 일레븐 나인(11N)급 순도가 요구되며, 불순물은 합계로도 0.01 ppb 정도에 불과합니다. 금속 불순물은 극미량이어도 캐리어 수명을 줄이고 누설 전류를 늘리기 때문입니다. 원료는 트리클로로실란을 수소로 환원하여 석출시키는 지멘스법으로 만듭니다. 태양전지용은 6N~9N 정도여도 되지만, 99%나 99.99%로는 반도체용으로 전혀 부족합니다.

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