공정 재료(가스와 케미칼)

반도체 제조에 쓰는 초순수의 순도 관리에 쓰이는 대표적인 지표는 무엇입니까?

  1. A색의 짙기
  2. B비저항(저항률)
  3. C점도
정답과 해설 보기

정답: B. 비저항(저항률)

물에 녹아 있는 이온이 적을수록 전기가 통하기 어려워지므로, 초순수의 순도는 비저항으로 관리합니다. 물 자체의 전리만으로 정해지는 이론상의 상한은 25 ℃에서 약 18.2 MΩ·cm이며, 반도체용 초순수는 이 값에 가깝게 유지됩니다. 비저항은 이온 이외의 오염에는 반응하지 않으므로, TOC(총유기탄소), 미립자, 용존 산소, 실리카 등도 별도로 ppb 수준에서 감시합니다. 색이나 점도로는 순도의 차이를 알 수 없습니다.

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