공정 재료(가스와 케미칼)
염화수소 등 할로겐계 가스의 배관에서 가스 속 수분을 특히 엄격하게 관리하는 이유로 올바른 것은 무엇입니까?
- A수분이 있으면 가스가 가벼워지기 때문
- B수분이 있으면 염산 같은 부식성 액체가 되어 스테인리스 배관을 부식시키고 금속 오염의 원인이 되기 때문
- C수분이 있으면 가스의 색이 변하기 때문
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정답: B. 수분이 있으면 염산 같은 부식성 액체가 되어 스테인리스 배관을 부식시키고 금속 오염의 원인이 되기 때문
건조한 염화수소는 스테인리스를 거의 부식시키지 않지만, 수분이 더해지면 염산과 마찬가지로 강한 부식성을 띱니다. 배관 내면이 부식되면 철, 크롬, 니켈 등의 금속이 가스에 섞여 웨이퍼를 오염시키고, 부식 생성물이 파티클이 되기도 합니다. 그래서 할로겐계 가스 배관은 사용 전에 충분히 건조시키고 수분을 ppb 수준까지 억제합니다. 무게나 색의 변화가 문제가 되는 것이 아닙니다.
- A. 무게가 변하는 것이 문제가 아닙니다.
- B. 맞습니다. 수분이 있으면 부식성이 강해져 금속 오염의 원인이 됩니다.
- C. 색이 변하는 것이 문제가 아닙니다.