산화와 확산
LOCOS 등의 소자 분리에 사용된 필드 산화막과 MOSFET의 게이트 산화막의 두께 관계로 일반적으로 올바른 것은?
- A게이트 산화막이 훨씬 두껍다
- B둘은 같은 두께이다
- C필드 산화막이 훨씬 두껍다
정답과 해설 보기
정답: C. 필드 산화막이 훨씬 두껍다
필드 산화막은 그 위를 지나는 배선과 실리콘 사이에서 기생 트랜지스터가 켜지지 않도록 수백 nm 정도로 두껍게 만듭니다. 두꺼울수록 기생 트랜지스터의 문턱 전압이 높아지기 때문입니다. 한편 게이트 산화막은 게이트의 전계를 채널에 강하게 전달하기 위해 수 nm 정도로 매우 얇아, 100배 이상의 차이가 납니다. 같은 칩에서 입출력용으로 더 두꺼운 게이트 산화막을 구분해 사용하기도 합니다.
- A. 게이트 산화막은 전계를 강하게 전달하기 위해 얇게 만듭니다.
- B. 역할이 다르므로 두께는 크게 다릅니다.
- C. 올바릅니다. 소자 분리용 산화막은 훨씬 두껍게 만듭니다.