산화와 확산
열확산으로 실리콘에 인을 도입할 때 액체 확산원으로 사용되어 온 화합물은?
- A아르신(AsH3)
- B옥시염화인(POCl3)
- C디보란(B2H6)
정답과 해설 보기
정답: B. 옥시염화인(POCl3)
옥시염화인(POCl3)은 실온에서 액체이며, 질소로 버블링하여 기화시키고 산소와 함께 로에 흘리면 실리콘 표면에 인을 포함한 유리층(PSG)이 생기고, 거기에서 인을 확산시킵니다. 수백 장을 한 번에 처리할 수 있고 저렴해서 결정 실리콘 태양전지의 n형 에미터층 형성 등에 지금도 널리 사용됩니다. 붕소에는 BBr3가, 기체로는 포스핀이나 디보란이 사용됩니다.
- A. 아르신은 비소를 포함한 가스입니다.
- B. 올바릅니다. 인의 액체 확산원입니다.
- C. 디보란은 붕소를 포함한 가스입니다.