Deal-Grove 모델에서 열산화 초기(산화막이 아직 얇을 때)의 산화막 두께와 시간의 관계로 올바른 것은?

정답: B. 막 두께는 시간에 거의 비례한다(직선적으로 증가한다)

산화막이 얇을 때는 산화제가 막을 통과하기 쉬워 계면에서의 반응 속도가 율속이 되므로 막 두께는 시간에 거의 비례하여 늘어납니다(선형 법칙, 속도 상수 B/A). 막이 두꺼워지면 산화제의 막 내 확산이 율속이 되어 막 두께는 시간의 제곱근에 비례하게 됩니다(포물선 법칙, 속도 상수 B). 전환의 기준은 막 두께가 A/2 정도일 때이며, 건식 산화에서는 수십 nm~100 nm 정도입니다.

• A. 시간의 제곱근에 비례하는 것은 막이 두꺼워진 이후입니다.
• B. 올바릅니다. 초기에는 반응 율속이어서 직선적으로 증가합니다.
• C. 산화가 진행되면 막 두께는 늘어납니다.