산화와 확산
실리콘을 산화하는 동안 붕소나 인의 확산이 산화하지 않을 때보다 빨라지는 현상을 무엇이라고 합니까?
- A일렉트로마이그레이션
- B채널링
- C산화 증속 확산(OED)
정답과 해설 보기
정답: C. 산화 증속 확산(OED)
산화가 진행되면 계면에서 남은 격자간 실리콘이 실리콘 속으로 주입됩니다. 붕소나 인은 격자간 실리콘과 짝을 이루어 확산하기 쉬우므로 산화 중에는 확산이 수 배 빨라집니다(산화 증속 확산, OED). 반대로 안티모니는 주로 공공을 통해 확산하므로, 격자간 실리콘이 늘어나면 공공이 줄어 느려집니다(산화 억제 확산). 이 차이는 확산 메커니즘을 조사하는 단서가 되기도 했습니다.
- A. 일렉트로마이그레이션은 전류에 의한 배선 금속 원자의 이동입니다.
- B. 채널링은 이온 주입에서 결정의 틈새를 따라 깊이 진행하는 현상입니다.
- C. 올바릅니다. 산화로 주입된 격자간 실리콘 때문에 확산이 빨라집니다.