건식 산화로 두께 수십 nm 이하의 얇은 산화막을 만들 때 Deal-Grove 모델에서 벗어나는 것으로 알려진 점은?

정답: A. 초기 산화가 모델의 예측보다 빠르게 진행된다

Deal-Grove 모델은 두꺼운 산화막의 성장을 잘 나타내지만, 건식 산화에서 막 두께가 수십 nm 이하인 초기 영역에서는 실제 산화가 모델의 예측보다 빠르게 진행됩니다. 원인으로 얇은 막을 통과하는 산화제의 다른 경로나 계면 부근의 응력 영향 등이 거론됩니다. 모델에서는 이 분량을 초기 막 두께(τ, 약 20 nm에 해당)로 보정하지만, 수 nm 게이트 산화막의 두께를 정하려면 실측에 의한 조건 설정이 필수입니다.

• A. 올바릅니다. 초기의 얇은 영역에서는 모델보다 빠르게 산화가 진행됩니다.
• B. 산화는 진행됩니다.
• C. SiO2는 절연체이며 도체가 되지 않습니다.