포토리소그래피

마스크를 비스듬한 방향에서 조명하여 미세한 패턴의 해상도를 높이는 기술은?

  1. AOPC(광 근접 효과 보정)
  2. B변형 조명(사입사 조명)
  3. C위상 시프트 마스크
정답과 해설 보기

정답: B. 변형 조명(사입사 조명)

미세한 주기 패턴에서는 회절광이 큰 각도로 퍼져 렌즈에 들어오지 못하게 되어 0차광만으로는 상이 만들어지지 않습니다. 빛을 비스듬히 비추면 0차광과 한쪽의 1차 회절광을 모두 렌즈에 받아들일 수 있으므로, 이론상 해상할 수 있는 피치가 약 절반까지 미세해지고 초점 심도도 깊어집니다. 윤대 조명이나 2극·4극 조명 등이 있으며, 현재는 픽셀 단위로 광원의 모양을 자유롭게 설정할 수 있는 조명계가 사용됩니다.

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