배선 공정
LSI 배선 재료에 요구되는 주된 성질의 조합으로 올바른 것은?
- A전기를 통하지 않고 열도 통하지 않을 것
- B저항이 낮고 전류에 의한 열화(일렉트로마이그레이션)에 강하며 가공하기 쉬울 것
- C빛을 잘 통과시키고 부드러울 것
정답과 해설 보기
정답: B. 저항이 낮고 전류에 의한 열화(일렉트로마이그레이션)에 강하며 가공하기 쉬울 것
배선 재료에는 신호 지연과 전력 손실을 줄이기 위한 낮은 저항, MA/cm² 수준의 큰 전류 밀도에서도 열화하기 어려운 신뢰성, 절연막이나 실리콘으로 잘 확산하지 않을 것, 미세한 패턴에 가공·매립하기 쉬울 것, 공정 온도를 견딜 것이 요구됩니다. 이러한 균형에서 Al에서 Cu로, 그리고 극미세 부분에서는 Co, Ru, Mo 등으로 재료가 바뀌어 왔습니다.
- A. 전기를 통하지 않는 재료는 배선이 될 수 없습니다.
- B. 맞습니다. 저저항, 신뢰성, 가공성이 요구됩니다.
- C. 빛을 통과시키는 것은 배선에 요구되지 않습니다.