에피택셜 성장

p+ 기판 위에 저농도 p형 에피택셜층을 성장시킨 웨이퍼(p/p+ 에피 웨이퍼)의 장점으로 올바른 것은?

  1. A웨이퍼가 투명해진다
  2. B표면의 결정 품질이 좋고 CMOS의 래치업을 억제하기 쉽다
  3. C식각이 필요 없어진다
정답과 해설 보기

정답: B. 표면의 결정 품질이 좋고 CMOS의 래치업을 억제하기 쉽다

에피층은 CZ 웨이퍼 표면보다 산소 석출물이나 COP 등의 결함이 적어 소자를 만드는 표면의 품질이 좋아집니다. 또한 아래에 저저항 p+ 기판이 있으면 기생 사이리스터의 전류가 기판으로 빠져나가기 쉽고 웰 사이의 전위차가 생기기 어려워 CMOS의 래치업을 억제하기 쉬워집니다. 고농도 기판은 금속 불순물의 게터링에도 도움이 되며, 마이크로컨트롤러와 이미지 센서에 널리 사용됩니다.

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