MOCVD(유기금속 기상 성장법)가 주로 사용되는 용도는?

정답: C. GaN 등 화합물 반도체의 에피택셜 성장

MOCVD는 트리메틸갈륨 같은 유기금속과 암모니아 같은 수소화물 가스를 가열한 기판 위에서 반응시켜 화합물 반도체 결정을 성장시키는 방법입니다. 가스를 전환하여 조성을 수 nm 단위로 바꿀 수 있고, 한 번에 수십 장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 양산성이 있습니다. GaN계 청색·백색 LED, 반도체 레이저, 고주파·파워 디바이스는 물론 태양전지 제조에도 널리 사용됩니다.