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Rendement et contrôle qualité

Parmi les causes de perte de rendement, comment appelle-t-on les défauts qui se répètent sur des motifs particuliers, en raison notamment d'une mauvaise compatibilité entre la conception et le procédé de fabrication ?

  1. ADéfauts systématiques
  2. BDéfauts aléatoires
  3. CErreurs logicielles (soft errors)
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Réponse : A. Défauts systématiques

Les causes de perte de rendement se divisent en défauts aléatoires, survenant de façon probabiliste à cause des particules notamment, et en défauts systématiques, survenant de façon reproductible pour certains layouts ou conditions de procédé. Les défauts systématiques apparaissent de façon répétée à des emplacements déterminés, par exemple sur des formes de motifs qui tendent à s'amincir à l'exposition. Leur proportion a augmenté avec la miniaturisation, d'où l'importance du DFM pour les prévenir dès la conception. Les soft errors sont des erreurs transitoires dues aux rayonnements.

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