수율과 품질 관리

수율 저하 요인 중 설계와 제조 공정의 궁합 등으로 인해 특정 패턴에서 반복적으로 발생하는 불량을 무엇이라고 합니까?

  1. A시스테매틱 불량
  2. B랜덤 불량
  3. C소프트 에러
정답과 해설 보기

정답: A. 시스테매틱 불량

수율 저하 요인은 파티클 등으로 확률적으로 일어나는 랜덤 불량과, 특정 레이아웃이나 공정 조건에서 재현성 있게 일어나는 시스테매틱(systematic) 불량으로 나뉩니다. 시스테매틱 불량은 노광에서 가늘어지기 쉬운 형태의 패턴처럼 위치가 정해져 반복해서 나타납니다. 미세화로 그 비중이 늘어 설계 단계에서 막는 DFM이 중요해졌습니다. 소프트 에러는 방사선에 의한 일시적인 오류입니다.

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