Ausbeute und Qualitätskontrolle

Wie heißt unter den Ursachen sinkender Ausbeute ein Fehler, der durch die Verträglichkeit von Entwurf und Fertigungsprozess in bestimmten Mustern wiederholt auftritt?

  1. ASystematischer Fehler
  2. BZufälliger Fehler
  3. CSoft Error
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Antwort: A. Systematischer Fehler

Ursachen sinkender Ausbeute gliedern sich in zufällige Fehler, die z. B. durch Partikel stochastisch auftreten, und systematische Fehler, die bei bestimmten Layouts und Prozessbedingungen reproduzierbar auftreten. Systematische Fehler treten wiederholt an festgelegten Orten auf, etwa bei Mustern, die bei der Belichtung leicht zu dünn werden. Ihr Anteil ist mit der Miniaturisierung gestiegen, und DFM, das sie bereits im Entwurf verhindert, ist wichtig geworden. Ein Soft Error ist ein vorübergehender Fehler durch Strahlung.

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