Welche Masse kommt der eines einzelnen Siliziumwafers mit 300 mm Durchmesser und 775 µm Dicke am nächsten? (Dichte von Silizium etwa 2.33 g/cm³)

Antwort: C. etwa 128 g

Das Volumen beträgt π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³, und mit der Dichte 2.33 g/cm³ ergeben sich etwa 128 g. Ein 200-mm-Wafer (725 µm Dicke) wiegt etwa 53 g. Ein Behälter (FOUP) mit 25 Wafern à 300 mm wiegt insgesamt etwa 8 kg und wird in Fabriken daher automatisch mit Deckentransportsystemen (OHT) befördert. Gewicht und Bruchempfindlichkeit sind einer der Gründe, warum bei großen Durchmessern auf manuellen Transport verzichtet wurde.