Plaquettes de silicium
En fin de tirage CZ, quelle est la raison principale de réduire progressivement le diamètre du lingot (former la queue) avant de le séparer du bain ?
- AAugmenter la concentration d'oxygène
- BÉviter qu'une séparation brutale du bain introduise par choc thermique des dislocations de glissement qui se propagent dans le cristal
- CAlléger le lingot
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Réponse : B. Éviter qu'une séparation brutale du bain introduise par choc thermique des dislocations de glissement qui se propagent dans le cristal
Si le cristal est séparé du bain avec son plein diamètre, les contraintes thermiques dues au changement brutal de température génèrent des dislocations qui remontent dans le cristal sur une longueur de l'ordre du diamètre et endommagent le corps destiné aux produits. Une réduction progressive conique du diamètre avant séparation empêche la génération et la propagation de ces dislocations. L'épaule et la queue ne devenant pas des produits, la réduction de leur longueur est aussi un enjeu de réduction des coûts.