실리콘 웨이퍼
직경 300 mm, 두께 775 µm인 실리콘 웨이퍼 한 장의 질량에 가장 가까운 것은? (실리콘의 밀도는 약 2.33 g/cm³)
- A약 13 g
- B약 1,280 g
- C약 128 g
정답과 해설 보기
정답: C. 약 128 g
부피는 π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³이며, 밀도 2.33 g/cm³를 곱하면 약 128 g이 됩니다. 200 mm 웨이퍼(두께 725 µm)라면 약 53 g입니다. 300 mm 웨이퍼 25장을 넣은 용기(FOUP)는 합계 8 kg 안팎이 되므로, 공장에서는 천장 반송 장치(OHT)로 자동 반송합니다. 무게와 깨지기 쉬움이 대구경화로 인력 반송을 그만둔 이유 중 하나입니다.
- A. 약 13 g은 한 자릿수 너무 작습니다.
- B. 약 1,280 g은 한 자릿수 너무 큽니다.
- C. 옳습니다. 약 54.8 cm³ × 2.33 g/cm³ ≈ 128 g입니다.