Siliciumwafers
Hoe heet de cilindervormige massa monokristallijn silicium, gegroeid met onder meer de CZ-methode, voordat deze tot wafers wordt gesneden?
- ATarget
- BIngot
- CPellet
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Ingot
De cilindervormige massa die bij het trekken van een monokristal wordt verkregen, heet een ingot. De bovenkant heeft een schouder vanaf het zaadkristal en de onderkant een versmald staartstuk; alleen het deel daartussen met constante diameter (het cilindrische deel) wordt product. De buitenzijde van de ingot wordt geslepen om de diameter gelijk te maken en de notch wordt aangebracht, waarna hij tot dunne wafers wordt gesneden. Soortelijke weerstand en zuurstofconcentratie worden gemeten en de delen die aan de specificatie voldoen worden geselecteerd.