실리콘 웨이퍼
CZ법 등으로 성장시킨, 웨이퍼로 자르기 전의 원기둥 모양 단결정 실리콘 덩어리를 무엇이라 부르는가?
- A타깃
- B잉곳
- C펠릿
정답과 해설 보기
정답: B. 잉곳
단결정 인상으로 얻어지는 원기둥 모양의 덩어리를 잉곳이라 부릅니다. 상단에는 종결정에서 이어지는 숄더 부분, 하단에는 가늘게 줄인 테일 부분이 있으며, 그 사이의 직경이 일정한 부분(직동부)만 제품이 됩니다. 잉곳의 외주를 연삭하여 직경을 맞추고 노치를 가공한 뒤 얇게 잘라 웨이퍼로 만듭니다. 저항률과 산소 농도를 측정하여 사양에 맞는 부분을 골라 사용합니다.
- A. 타깃은 스퍼터링에서 원료로 쓰는 판 모양 재료입니다.
- B. 옳습니다. 원기둥 모양의 단결정 덩어리는 잉곳입니다.
- C. 펠릿은 작은 알갱이 모양으로 성형한 것입니다.