Siliziumwafer

Welches Verfahren unterdrückt beim CZ-Verfahren durch ein am Tiegel angelegtes Magnetfeld die Konvektion der Schmelze und steuert Sauerstoffkonzentration u. Ä.?

  1. AFZ-Verfahren
  2. BMCZ-Verfahren (CZ-Verfahren mit Magnetfeld)
  3. CBridgman-Verfahren
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Antwort: B. MCZ-Verfahren (CZ-Verfahren mit Magnetfeld)

Da eine Siliziumschmelze elektrisch leitet, wirkt bei einem Magnetfeld eine entgegengesetzte Kraft (Lorentz-Kraft) auf die bewegte Schmelze, und die Konvektion wird unterdrückt. Beim MCZ-Verfahren lässt sich dadurch der Einbau von aus dem Tiegel gelöstem Sauerstoff in den Kristall begrenzen, und Temperaturschwankungen und Wachstumsstreifen werden verringert, sodass die Gleichmäßigkeit des Kristalls steigt. Bei 300-mm-Kristallen, bei denen die Schmelzmenge mehrere hundert kg beträgt, ist die Konvektion heftig, weshalb standardmäßig das MCZ-Verfahren mit Quermagnetfeld eingesetzt wird.

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