Quelle combinaison de matériaux est utilisée pour le multicouche réfléchissant des masques EUV ?

Réponse : C. Molybdène et silicium

Les masques EUV et les miroirs des scanners utilisent un multicouche d'environ 40 paires de couches minces de molybdène et de silicium alternées avec une période d'environ 7 nm. Les épaisseurs étant conçues pour que les faibles réflexions à chaque interface soient en phase, il réfléchit environ 70 % de la lumière à 13,5 nm. L'EUV étant fortement absorbé par toutes les substances, une optique réfléchissante est nécessaire à la place des lentilles. La surface est recouverte d'une couche de protection, en ruthénium par exemple.