Quel matériau est couramment utilisé pour les tampons de polissage CMP ?

Réponse : B. Le polyuréthane expansé

Les tampons CMP sont souvent en polyuréthane expansé à pores fins. Les pores et les rainures de surface retiennent la suspension (slurry) pour la répartir sur toute la plaquette et évacuent les débris de polissage. À l'usage, les pores se colmatent et la vitesse de polissage baisse ; on effectue donc un conditionnement, qui rectifie la surface avec un disque incrusté de diamant. Un tampon dur offre une meilleure planéité et un tampon souple raye moins ; on les superpose parfois.