製程材料（氣體與藥液）
用於半導體製造中超純水純度管理的代表性指標為下列何者？
- A顏色的深淺
- B電阻率
- C黏度
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正確答案：B. 電阻率
溶於水中的離子越少，越難導電，因此超純水的純度以電阻率來管理。僅由水本身的電離所決定的理論上限，在25 ℃約為18.2 MΩ·cm，半導體用的超純水會維持在接近此值。電阻率對離子以外的汙染物沒有反應，因此TOC（總有機碳）、微粒、溶氧、二氧化矽等也要另外以ppb等級進行監測。顏色或黏度無法分辨純度的差異。
製程材料（氣體與藥液）
正確答案：B. 電阻率
溶於水中的離子越少，越難導電，因此超純水的純度以電阻率來管理。僅由水本身的電離所決定的理論上限，在25 ℃約為18.2 MΩ·cm，半導體用的超純水會維持在接近此值。電阻率對離子以外的汙染物沒有反應，因此TOC（總有機碳）、微粒、溶氧、二氧化矽等也要另外以ppb等級進行監測。顏色或黏度無法分辨純度的差異。