プロセス材料(ガス・薬液)

半導体用の多結晶シリコン(ポリシリコン)原料に求められる純度の目安として最も適切なものはどれか。

  1. A99%程度
  2. B99.99%程度
  3. C99.999999999%(11N)程度
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正解：C. 99.999999999%(11N)程度

半導体用のシリコンには、9が11個並ぶ「イレブンナイン(11N)」程度の極めて高い純度が求められます。わずかな金属不純物でもデバイスの特性を大きく変えてしまうためです。太陽電池用はこれより純度が低くてもよいとされています。

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