Pour une diffusion de dopants à température constante, si l’on multiplie par 4 la durée de diffusion, par combien la distance de diffusion approximative est-elle multipliée ?

Réponse : C. 2

La distance caractéristique de diffusion des dopants est √(Dt), proportionnelle à la racine carrée du temps ; quadrupler le temps ne fait que doubler la distance. En revanche, le coefficient de diffusion D dépend exponentiellement de la température et varie d’environ un ordre de grandeur pour 100 ℃ ; pour limiter la profondeur de diffusion, baisser la température est bien plus efficace que réduire le temps. Les procédés avancés utilisent des recuits milliseconde afin de réduire √(Dt) en raccourcissant extrêmement la durée, même à haute température.