Oxidation und Diffusion

Welche Aussage zur pyrogenen Oxidation (Wasserstoffverbrennungsoxidation) ist richtig?

  1. AEin Verfahren der Nassoxidation, bei dem mit hochreinem Wasserdampf oxidiert wird, der durch Verbrennung von Wasserstoff und Sauerstoff entsteht
  2. BEin Verfahren der Trockenoxidation, bei dem nur mit trockenem Sauerstoff oxidiert wird
  3. CEin Verfahren, bei dem ein Oxidfilm per CVD abgeschieden wird
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Antwort: A. Ein Verfahren der Nassoxidation, bei dem mit hochreinem Wasserdampf oxidiert wird, der durch Verbrennung von Wasserstoff und Sauerstoff entsteht

Bei der pyrogenen Oxidation werden am Ofeneingang (Torch) Wasserstoff und Sauerstoff verbrannt, um Wasserdampf zu erzeugen, mit dem das Silizium oxidiert wird. Verglichen mit dem Zuführen von Dampf aus siedendem reinem Wasser ist die Kontamination geringer, und die Dampfmenge lässt sich über die Gasdurchflüsse genau steuern. Da verbleibender Wasserstoff Explosionsgefahr bedeutet, ist sie sicherheitstechnisch so ausgelegt, dass etwas mehr Sauerstoff zugeführt wird. Sie wird weit verbreitet für dicke Feldoxide und Maskenoxide verwendet.

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