氧化與擴散
關於高溫分解氧化(氫氣燃燒氧化,pyrogenic oxidation),下列說明何者正確?
- A以氫與氧燃燒產生的高純度水蒸氣進行氧化的濕式氧化方法
- B僅以乾燥氧氣進行氧化的乾式氧化方法
- C以 CVD 沉積氧化層的方法
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正確答案:A. 以氫與氧燃燒產生的高純度水蒸氣進行氧化的濕式氧化方法
在高溫分解氧化中,於爐口(燃燒器)使氫與氧燃燒產生水蒸氣,再以該水蒸氣氧化矽。與將純水煮沸送出水蒸氣的方法相比,汙染較少,且可由氣體流量精確控制水蒸氣的量。由於殘留氫有爆炸危險,設計上會讓氧氣流量略多以確保安全。這種方法一直廣泛用於形成厚的場氧化層與遮罩氧化層。