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MOSFET

Quelle description de la tension de bandes plates d’une structure MOS est correcte ?

  1. ALa tension de grille à laquelle le canal entre en forte inversion
  2. BLa tension de grille à laquelle l’isolant de grille claque
  3. CLa tension de grille à laquelle les bandes ne sont pas courbées (sont plates) à la surface du semi-conducteur
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Réponse : C. La tension de grille à laquelle les bandes ne sont pas courbées (sont plates) à la surface du semi-conducteur

La tension de bandes plates VFB est la tension de grille à laquelle les bandes à la surface du semi-conducteur ne sont pas courbées ; elle vaut VFB = φms − Qox/Cox (différence de travaux de sortie et charges de l’isolant et de l’interface). La tension de seuil s’obtient en ajoutant à VFB le terme 2φF nécessaire à l’inversion et la tension due à la charge de déplétion. Le décalage de VFB mesuré par C-V permet d’évaluer les charges et contaminations de l’isolant (ions Na, etc.), ce qui en fait un indicateur important de maîtrise des procédés.

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