MOSFET
Welke uitleg over de flat-band-spanning van een MOS-structuur is juist?
- ADe gatespanning waarbij het kanaal sterk geïnverteerd is
- BDe gatespanning waarbij de gate-isolator doorslaat
- CDe gatespanning waarbij de banden aan het halfgeleideroppervlak niet gebogen zijn (vlak zijn)
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. De gatespanning waarbij de banden aan het halfgeleideroppervlak niet gebogen zijn (vlak zijn)
De flat-band-spanning VFB is de gatespanning waarbij de banden aan het halfgeleideroppervlak niet gebogen zijn maar vlak, en wordt bepaald door VFB = φms − Qox/Cox (verschil in werkfunctie en lading in de isolator en op het grensvlak). De drempelspanning is VFB plus de voor inversie benodigde 2φF en de spanning door de uitputtingslaaglading. Aan de verschuiving van VFB bij C-V-metingen zijn lading in de isolator en verontreiniging (zoals Na-ionen) te beoordelen, en het is een belangrijke indicator voor procesbeheersing.