화합물 반도체 웨이퍼나 에피층의 품질을 비접촉으로 평가하기 위해, 레이저 빛을 쏘아 나오는 발광의 스펙트럼이나 강도 분포를 측정하는 방법은?

정답: B. 포토루미네선스(PL) 측정

포토루미네선스에서는 밴드갭보다 큰 에너지의 레이저 빛을 쏘아 캐리어를 만들고, 그것이 재결합할 때 나오는 빛을 측정합니다. 발광 파장으로부터 조성이나 밴드갭을, 강도 분포로부터 결함이나 불균일성을 알 수 있어 LED나 레이저용 에피층의 평가에 널리 사용됩니다. 전극이 필요 없고 웨이퍼 전면의 분포도를 그릴 수 있습니다. 시료를 냉각하면 결함에서 유래하는 발광을 자세히 분리하여 조사할 수 있습니다.

• A. AFM은 표면의 요철을 측정하는 방법입니다.
• B. 올바릅니다. 빛을 쏘아 나오는 발광을 측정하는 방법입니다.
• C. 4탐침법은 비저항을 측정하는 접촉식 방법입니다.