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MEMS et capteurs

Quelle affirmation sur l’association d’un capteur MEMS et de son circuit de traitement du signal est correcte ?

  1. AIls ne peuvent pas être associés
  2. BIls doivent impérativement être intégrés sur la même puce
  3. COn peut les intégrer sur la même puce ou placer des puces séparées dans un même boîtier
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Réponse : C. On peut les intégrer sur la même puce ou placer des puces séparées dans un même boîtier

Intégrer le MEMS et le circuit de traitement du signal sur la même puce réduit les capacités parasites et la taille, mais impose de rendre compatibles les deux procédés, ce qui est complexe. Fabriquer chaque puce avec le procédé optimal et les juxtaposer ou les empiler dans un même boîtier est aussi très répandu ; c’est le cas de nombreux capteurs pour smartphones. Récemment, on utilise aussi le collage d’une plaquette MEMS et d’une plaquette CMOS pour les intégrer.

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