MEMS et capteurs
Comment élever la fréquence de résonance d’une structure MEMS constituée d’un ressort et d’une masse ?
- AAssouplir le ressort et alourdir la masse
- BRigidifier le ressort ou alléger la masse
- CChanger la couleur de la structure
Afficher la réponse et l'explication
Réponse : B. Rigidifier le ressort ou alléger la masse
La fréquence de résonance d’une structure de raideur k et de masse m est f = (1/2π)√(k/m) ; elle augmente lorsque le ressort est plus rigide ou la masse plus légère. Dans un accéléromètre, le déplacement de la masse est proportionnel à accélération ÷ (2πf)² ; plus la fréquence de résonance est élevée, plus la sensibilité diminue. En revanche, la bande passante et la tenue aux chocs augmentent ; la fréquence de résonance (de l’ordre de quelques kHz) résulte d’un compromis entre sensibilité et bande passante.