MEMS et capteurs
Quelle description des MEMS est correcte ?
- ADispositif intégrant des structures mécaniques microscopiques et des circuits électroniques, réalisé par les techniques de microfabrication des semi-conducteurs
- BDispositif d’enregistrement de grande capacité utilisant une bande magnétique
- CDispositif d’affichage réalisé uniquement sur substrat de verre
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Réponse : A. Dispositif intégrant des structures mécaniques microscopiques et des circuits électroniques, réalisé par les techniques de microfabrication des semi-conducteurs
Les MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) sont des dispositifs qui utilisent les techniques de fabrication des semi-conducteurs (dépôt, lithographie, gravure, etc.) pour réaliser des structures mécaniques microscopiques comportant des parties mobiles (ressorts, masses, membranes, miroirs) servant de capteurs ou d’actionneurs. Fabriqués en grande quantité à l’échelle de la plaquette, ils sont petits et bon marché ; un seul smartphone contient plusieurs MEMS : accéléromètre, gyroscope, capteur de pression atmosphérique, microphone, etc.