MEMS und Sensoren
Welche Aussage zu MEMS ist korrekt?
- ABauelemente, bei denen mit mikrotechnischer Halbleiterfertigung winzige mechanische Strukturen und elektronische Schaltungen u. Ä. hergestellt werden
- BEin Massenspeicher auf Magnetbandbasis
- CEine Anzeigevorrichtung, die nur aus einem Glassubstrat besteht
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Antwort: A. Bauelemente, bei denen mit mikrotechnischer Halbleiterfertigung winzige mechanische Strukturen und elektronische Schaltungen u. Ä. hergestellt werden
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) sind Bauelemente, bei denen mit Verfahren der Halbleiterfertigung wie Schichtabscheidung, Lithografie und Ätzen winzige mechanische Strukturen mit beweglichen Teilen wie Federn, Massen, Membranen und Spiegeln hergestellt und als Sensoren und Aktoren genutzt werden. Da sie in großer Zahl auf einmal auf Waferebene hergestellt werden können, sind sie klein und preiswert, und in einem Smartphone stecken mehrere MEMS wie Beschleunigungs-, Gyro-, Drucksensoren und Mikrofone.