Quel est le principe de détection de l’accélération d’un accéléromètre MEMS capacitif ?

Réponse : B. La variation de capacité entre électrodes due au déplacement de la partie mobile (masse)

Sous l’effet d’une accélération, la masse suspendue par des ressorts se déplace par inertie, ce qui modifie la distance aux électrodes fixes en peigne. Un circuit détecte la variation de capacité correspondante pour en déduire l’accélération. Le déplacement est de quelques nm au plus et la variation de capacité inférieure au fF (10⁻¹⁵ F), mais une configuration d’électrodes différentielle et un circuit très sensible permettent de la lire. Simple, peu gourmand en énergie et peu sensible à la température, ce capteur est largement utilisé, notamment dans les smartphones.