MEMS와 센서
MEMS에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A반도체 미세 가공 기술로 미소한 기계 구조와 전자 회로 등을 만들어 넣은 디바이스
- B자기 테이프를 사용한 대용량 기록 장치
- C유리 기판만으로 만드는 디스플레이 장치
정답과 해설 보기
정답: A. 반도체 미세 가공 기술로 미소한 기계 구조와 전자 회로 등을 만들어 넣은 디바이스
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 반도체 제조의 성막·리소그래피·식각 등의 기술을 사용하여 스프링·추·박막·미러 등 가동부를 가진 미소한 기계 구조를 만들고, 이를 센서나 액추에이터로 사용하는 디바이스입니다. 웨이퍼 단위로 한 번에 대량 생산할 수 있어 소형·저가이며, 스마트폰 한 대에는 가속도, 자이로, 기압, 마이크 등 여러 개의 MEMS가 들어 있습니다.