Procédés d'interconnexion
Quelle est la principale raison pour laquelle on a utilisé pour les interconnexions en aluminium un alliage Al-Cu contenant environ 0,5 % de cuivre ?
- APour améliorer la résistance à l'électromigration
- BPour réduire fortement la résistivité
- CPour changer la couleur des interconnexions
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Réponse : A. Pour améliorer la résistance à l'électromigration
Les interconnexions en aluminium pur forment facilement des voids et des hillocks par déplacement des atomes sous l'effet du courant (électromigration), principale cause de défaillance des CI à la fin des années 1960. L'ajout d'environ 0,5 à 4 % de cuivre, qui ségrège aux joints de grains, freine le déplacement des atomes d'aluminium aux joints et allonge la durée de vie d'un ordre de grandeur ou plus. La résistivité augmente légèrement, mais le gain de fiabilité est important, et cet alliage est devenu la norme avant les interconnexions en Cu.
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