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Procédés d'interconnexion

Quel est le rôle fondamental de l'isolant intercouche qui remplit l'espace entre les interconnexions ?

  1. ARéduire la résistance des interconnexions
  2. BFixer la tension de seuil des transistors
  3. CIsoler électriquement les interconnexions entre elles et empêcher les courts-circuits
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Réponse : C. Isoler électriquement les interconnexions entre elles et empêcher les courts-circuits

L'isolant intercouche isole électriquement les interconnexions voisines d'une même couche et celles des couches supérieure et inférieure, et empêche les courts-circuits. Comme il détermine aussi la capacité entre interconnexions, des matériaux de faible permittivité (low-k) sont désormais utilisés. Il doit en outre satisfaire simultanément de nombreuses propriétés : résistance mécanique suffisante pour la CMP, blocage de la diffusion du Cu, évacuation de la chaleur, tenue diélectrique à long terme ; c'est un domaine difficile du développement des matériaux.

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