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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Quelle est la définition de la « longueur caractéristique (longueur naturelle) λ » utilisée pour estimer l'intensité des effets de canal court ?

  1. ALa longueur de l'interconnexion de grille
  2. BL'ordre de grandeur de la distance sur laquelle le potentiel de drain influe dans le canal ; si la longueur de grille est nettement supérieure à λ, les effets de canal court sont faibles
  3. CUne valeur exactement égale à la hauteur de l'ailette
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Réponse : B. L'ordre de grandeur de la distance sur laquelle le potentiel de drain influe dans le canal ; si la longueur de grille est nettement supérieure à λ, les effets de canal court sont faibles

La longueur caractéristique λ est l'ordre de grandeur de la distance sur laquelle l'influence du potentiel de drain décroît exponentiellement dans le canal ; pour un transistor planaire, elle est déterminée par les épaisseurs d'isolant et de canal, par exemple λ ≈ √((εSi/εox)·tox·tSi). Avec une longueur de grille d'environ 5 à 10 fois λ, les effets de canal court restent faibles. Plus la grille entoure de faces (double grille → triple grille → GAA), plus λ est petite et plus la longueur de grille peut être réduite.

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