Moderne Transistoren (FinFET, GAA)

Wofür steht das k im „High-k-Gate-Isolator“?

  1. AHärte des Kristalls
  2. BWärmeleitfähigkeit
  3. CRelative Permittivität (Größe der Permittivität)
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Antwort: C. Relative Permittivität (Größe der Permittivität)

Das k in High-k ist die relative Permittivität; Isoliermaterialien mit einem größeren Wert als SiO2 (etwa 3.9) heißen High-k-Materialien. Typisch sind HfO2 (etwa 20 bis 25) und HfSiON, mit denen auch bei physikalisch dicker Schicht eine große Gate-Kapazität erzielt wird. Materialien mit höherer Permittivität neigen jedoch zu einer kleineren Bandlücke und werden im Abwägen mit dem Leckstrom gewählt. Zwischen Leitungen dagegen werden Low-k-Materialien mit kleiner relativer Permittivität verwendet, um die Kapazität zu senken.

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