Ätzen

Was wird benötigt, wenn Oxid geätzt werden soll und beim darunterliegenden Nitrid gestoppt werden soll?

  1. AEine niedrige Selektivität
  2. BIsotropes Ätzen
  3. CEine hohe Ätzselektivität von Oxid gegenüber Nitrid
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Antwort: C. Eine hohe Ätzselektivität von Oxid gegenüber Nitrid

Soll am Nitrid gestoppt werden, sind Bedingungen nötig, bei denen Oxid schnell und Nitrid kaum geätzt wird. Mit Fluorkohlenstoffgasen mit hohem Kohlenstoffanteil wie C4F6 oder C4F8 sammelt sich auf dem Nitrid Polymer, das die Reaktion stoppt, während auf dem Oxid der Sauerstoff das Polymer verbraucht und das Ätzen fortschreitet; so wird gegenüber Nitrid eine Selektivität von einigen zehn und mehr erreicht. Wichtig ist dies z. B. bei der Bildung selbstjustierter Kontakte.

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