Epitaxie

Welche Punkte werden hauptsächlich als Qualität von Epitaxiewafern kontrolliert?

  1. AFarbe und Gewicht des Wafers
  2. BSchichtdicke und spezifischer Widerstand (Dotierungskonzentration) der Epischicht sowie Kristalldefekte
  3. CNur der Preis des Wafers
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Antwort: B. Schichtdicke und spezifischer Widerstand (Dotierungskonzentration) der Epischicht sowie Kristalldefekte

Bei Epitaxiewafern ist wichtig, dass Schichtdicke und spezifischer Widerstand (Dotierungskonzentration) der Epischicht der Spezifikation entsprechen und über den Wafer gleichmäßig sind; beide werden z. B. auf wenige Prozent genau kontrolliert. Außerdem werden wenige Kristalldefekte wie Stapelfehler und Partikel, die Ebenheit und metallische Verunreinigungen kontrolliert. Die Schichtdicke wird zerstörungsfrei mit FTIR, der spezifische Widerstand z. B. mit C-V-Messung gemessen, und Defekte werden mit Oberflächeninspektionsgeräten nach dem Laserstreuprinzip gezählt.

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