SPM(硫酸と過酸化水素水)洗浄の後のすすぎが不十分なときに起こりやすい問題として知られているものはどれか。

正解：A. 表面に硫酸イオンなどが残り、後に曇り(ヘイズ)や欠陥の原因になる

硫酸は粘性が高く表面に残りやすいため、すすぎが不十分だと硫酸イオンが残留し、空気中のアンモニアなどと反応して結晶の析出による曇り(ヘイズ)や欠陥を生じることがあります。そのため、温水によるすすぎを十分に行うなどの対策をとります。

• A. 正しい。残留した硫酸イオンが曇りや欠陥の原因になります。
• B. ウエハが厚くなることはありません。
• C. 導電型が変わることはありません。