在將CMP研磨液供應到研磨設備的管路途中設置過濾器，其主要目的為下列何者？

正確答案：B. 為了去除凝聚的大顆粒等，防止晶圓產生刮痕

研磨液的研磨粒子可能因保存中的溫度變化、管路內的剪切、乾燥等而凝聚成大團塊，這些團塊會刮傷晶圓。供應管線在泵浦或儲槽之後以及設備之前等處，會設置孔徑數µm左右的過濾器，只去除粗大的粒子，讓所需大小的研磨粒子通過。過濾器堵塞會改變流量，因此更換時機的管理也很重要。

• A. 沒有研磨粒子就無法研磨。
• B. 正確。去除凝聚的粗大粒子以防止刮痕。
• C. 過濾器不是用來加熱研磨液的。