CMPのスラリーを研磨装置に供給する配管の途中に、フィルタを設ける主な目的はどれか。

正解：B. 凝集した大きな粒子などを取り除き、ウエハの傷(スクラッチ)を防ぐため

スラリーの研磨粒子は保管や輸送の間に凝集して大きな塊になることがあり、それがウエハに傷をつけます。供給ラインのフィルタで、こうした大きな粒子を取り除き、必要な大きさの研磨粒子だけを通します。

• A. 研磨粒子がなくなると研磨できません。
• B. 正しい。凝集した粗大粒子を除いて傷を防ぎます。
• C. フィルタはスラリーを温めるためのものではありません。