CMP와 세정
CMP 슬러리를 연마 장비로 공급하는 배관 중간에 필터를 설치하는 주된 목적은?
- A연마 입자를 모두 제거하기 위해
- B응집된 큰 입자 등을 제거하여 웨이퍼의 흠집(스크래치)을 방지하기 위해
- C슬러리를 데우기 위해
정답과 해설 보기
정답: B. 응집된 큰 입자 등을 제거하여 웨이퍼의 흠집(스크래치)을 방지하기 위해
슬러리의 연마 입자는 보관 중 온도 변화, 배관 내 전단, 건조 등으로 응집하여 큰 덩어리가 될 수 있으며, 이것이 웨이퍼에 흠집을 냅니다. 공급 라인에는 펌프나 탱크 뒤, 장비 앞 등에 수 µm 정도 구멍 크기의 필터를 설치하여 조대 입자만 제거하고 필요한 크기의 연마 입자는 통과시킵니다. 필터가 막히면 유량이 변하므로 교체 시기 관리도 중요합니다.
- A. 연마 입자가 없어지면 연마할 수 없습니다.
- B. 올바릅니다. 응집된 조대 입자를 제거하여 흠집을 방지합니다.
- C. 필터는 슬러리를 데우기 위한 것이 아닙니다.