CMP et nettoyage
Quelle différence générale entre tampons de polissage durs et tendres en CMP est correcte ?
- ALe tampon tendre a la meilleure capacité d'aplanissement
- BLa dureté du tampon n'influe pas sur le résultat du polissage
- CLe tampon dur a une forte capacité d'aplanissement, le tampon tendre convient aux finitions avec peu de rayures et de défauts
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Réponse : C. Le tampon dur a une forte capacité d'aplanissement, le tampon tendre convient aux finitions avec peu de rayures et de défauts
Le tampon dur, peu déformable, enlève sélectivement les reliefs et excelle dans l'aplanissement à grande échelle, mais il presse particules et corps étrangers contre la surface et raye plus facilement. Le tampon tendre épouse la surface et produit peu de rayures et de défauts, mais touche aussi les creux et aplanit moins bien. On concilie les deux par des tampons stratifiés associant une couche de polyuréthane dure à une sous-couche tendre, ou en les alternant selon les étapes.