CMP 연마 패드에서 경질 패드와 연질 패드의 일반적인 특징 차이로 올바른 것은?

정답: C. 경질 패드는 평탄화 능력이 높고, 연질 패드는 흠집과 결함이 적은 마무리에 적합하다

경질 패드는 변형이 잘 되지 않아 볼록부를 선택적으로 깎기 쉬워 넓은 범위의 평탄화에 뛰어나지만, 입자나 이물질을 눌러 붙여 흠집이 생기기 쉽습니다. 연질 패드는 표면에 잘 밀착되어 흠집과 결함이 적은 반면, 오목부에도 닿아 깎기 때문에 평탄화 능력이 떨어집니다. 그래서 단단한 폴리우레탄층과 부드러운 하부층을 겹친 적층 패드나 공정별 구분 사용으로 둘을 모두 만족시킵니다.

• A. 연질 패드는 오목부도 깎으므로 평탄화 능력이 떨어집니다.
• B. 패드의 경도는 연마 결과에 크게 영향을 줍니다.
• C. 올바릅니다. 경질 패드는 평탄화에, 연질 패드는 마무리에 적합합니다.