SC-1과 같은 알칼리성 세정액에서 한 번 떨어져 나간 파티클이 재부착되기 어려운 이유로 올바른 것은?

정답: B. 웨이퍼 표면과 입자가 같은 부호로 대전되어 서로 반발하기 때문

알칼리성 용액에서는 실리콘 표면과 많은 입자(실리카, 질화물 등)의 표면이 모두 음으로 대전됩니다(제타 전위가 음이 됨). 같은 부호의 전하끼리는 서로 반발하므로, 표면에서 떨어진 입자가 다시 부착되기 어려워집니다. 반대로 산성 용액에서는 제타 전위의 부호가 입자마다 제각각이 되어 재부착이 일어나기 쉽습니다. 이는 SC-1이 파티클 제거에 효과적인 이유 중 하나입니다.